高校微電子潔凈室安全管理前景

基于高校實(shí)驗(yàn)室安全工作者“以人為本、安全第一、預(yù)防為主”的行為方針，旨在建立“健康、安全、環(huán)?！钡膶?shí)驗(yàn)室科研和教學(xué)工作環(huán)境，圍繞微電子學(xué)科潔凈實(shí)驗(yàn)室的特點(diǎn)和相關(guān)法律法規(guī)，給出一系列潔凈室安全管理措施，以提升高校潔凈室的安全隱患防范水平和治理效能。

近年來(lái)歐美發(fā)達(dá)國(guó)家對(duì)我國(guó)微電子行業(yè)高舉制裁大棒，華為、中興等微電子高科技企業(yè)深受其害，我國(guó)堅(jiān)決走上獨(dú)立自主地發(fā)展微電子產(chǎn)業(yè)的道路，讓我國(guó)微電子行業(yè)的關(guān)鍵技術(shù)、關(guān)鍵材料、關(guān)鍵人才、相關(guān)專利等都牢牢掌握在自己手中；微電子產(chǎn)業(yè)的發(fā)展并非一朝一夕，電子元器件的關(guān)鍵性尺寸（Critical Dimension）、缺陷（Defect）等都是微米級(jí)、納米級(jí)，所以要求本產(chǎn)業(yè)的工作環(huán)境都是高等級(jí)的無(wú)塵潔凈室。在這場(chǎng)微電子技術(shù)戰(zhàn)爭(zhēng)中，高校應(yīng)當(dāng)是技術(shù)創(chuàng)新和發(fā)展的重要陣地。

由于國(guó)家政策的支持、產(chǎn)業(yè)的需要，近些年很多大學(xué)紛紛成立了微電子學(xué)院，因此，高校能夠配套建設(shè)、利用并高效安全地管理高等級(jí)的無(wú)塵潔凈室，對(duì)人才培養(yǎng)方面能起到事半功倍的效果。本文結(jié)合筆者對(duì)所在實(shí)驗(yàn)室微電子設(shè)備的管理，包括物理氣相沉積設(shè)備（PhysicalVapor Deposition, PVD）、化學(xué)氣相沉積設(shè)備（Che-mical Vapor Deposition, CVD）、光刻機(jī)、高溫氧化爐等，分析探討潔凈室安全管理方面的一些經(jīng)驗(yàn)，對(duì)高校潔凈室的使用提供一些有益的措施。